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工业真空等离子处理机系列
真空等离子处理机是一个具有多用途的机械系统，广泛应用于活化，退镀，改性，蚀刻，提升附着力和清洗等等功能。腔体大小从20升~1000升以上，电源、真空泵、反应气体等根据需求灵活定制，清洗工艺灵活可控制，具有清洗温度低，效果好，全方位清洗无死角，产能高等特点，是东信等离子事业部门主推产品之一
全国服务热线： 137-2884-2905
真空等离子处理机产品参数：
| 电源频率 | 40KHz/13.56MHz可选 |
| 容量 | 20L~1000L |
| 功率 | 0-1000W(可调) |
| 腔体尺寸 | 定制 |
| 处理层数 | 定制 |
| 外形尺寸 | 定制 |
| 真空泵 | 油泵/干泵+罗茨组合 |
| 真空度 | 5-100pa(可调) |
| 腔体材质 | 316不锈钢/进口铝合金(选配) |
| 气体流量控制 | 0-500SCCM(MFC±2%) |
| 气体通道 | 两路(可增加):Ar/N2/H2/CF4/02 |
| 等离子体发生器 | 40KHz/13.56MHz |
| 腔体温度 | ＜30℃ |
| 控制方式 | PLC+触摸屏 |
| 系统控制软件 | 自主研发V2.0 |
| 电极陶瓷 | 进口高频陶瓷 |
产品功能：
蚀刻：对于光致抗蚀剂聚酰亚胺的残留和以硅化物为基本成分的涂层等材料的清除很有用
粘附提升：往基质上添加活化能力强的化学基团以提高其粘合剂的黏着度。
清洗：清除材料上的光学物质的污染以及清除有机物残留，氧化和金属盐等对材料的污染。
活化：能使处理基材表面生成所需化学极键；
退镀：使被处理基材除去金属等材料，制作各种产品。
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